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桌面级镀膜系统

  • 型   号:DPU 150
  • 价   格:

特点: DPU 桌面级镀膜系统采用模块化设计、分布式布置,兼容手动控制和电脑软件联网控制方式,非常适合以积木式方式来灵活定位于为真空镀膜方向教学提供一套高效、灵活、直观的动手实践工具,解决目前学生面对只看不能动手组装搭建的问题。同时也适合真空镀膜科研前期方案试探,快速(快10倍效率)、低成本。此外适用于非真空镀膜专业人士用于产品开发时,进行简单的薄膜表面处理工序。

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DPU 桌面级真空镀膜系统采用模块化设计、分布式布置,兼容手动控制和电脑软件联网控制方式,非常适合以积木式方式来灵活定位于为真空镀膜方向教学提供一套高效、灵活、直观的动手实践工具,解决目前学生面对设备只看不能动手组装搭建的问题。同时也适合真空镀膜科研前期方案试探,快速(快10倍效率)、低成本。此外也适用于非真空镀膜专业人士用于产品开发时,进行简单的薄膜表面处理工序。
桌面级镀膜系统技术参数

技术规格 参数
泵组 涡轮泵机组TPS80-涡轮泵机组TPS150
本底真空 <5*10-6 Torr
泵组启动时间 <120 s
腔室模块 标准ISO腔体,~Ø 100-300 mm, 尺寸可定制
靶源模块 2、3、4英寸磁控靶源 +多弧源MAC100(Ø 100 mm)可选
阳极层离子源IAS60+ ICP40 射频清洗源可选
电源模块 各种品牌直流、脉冲、射频等电源可选
气体控制 气体控制器模块+MFC流量计控制
真空规 德国Leybold Vacuum全量程复合规+MKS 皮拉尼规
操作方式 手动触摸屏操作+电脑联网控制
电源 220V AC,50/60Hz 接地三脚插头
质量保证 一年免费/终身维护
备注 以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知,如有疑问请

 

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